微小力测量系统的实验研究

来源 :传感器与微系统 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tyybj2008
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介绍了一种微小力值测量系统的设计方法.系统采用了自主设计的传感器结构,充分利用了圆柱形电容传感器量程大、线性好、边缘效应小等特点,通过高精度直线轴承保证了运动的同轴度,又利用增加屏蔽结构等方法用来消除寄生电容的干扰.检测电路基于新型高精度、集成式电容数字转换器AD7747与单片机,实现了对电容变化量dC的精确测量.实验结果表明:该方法为10~(-5)N以下的微小力值测量提供了一种有效的解决方案.
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