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国内现有的平行度检测方法和检测设备都是用于检测可见光的平行度。对于激光和红外平行度的精密检测,还没有一个好的检测方法。本文介绍了一种既可以检测可见光又可以检测激光、红外平行度的检测仪,并且论述了设计原理、装调方法以及精度的验证,其检测精度可以达到±2″。
平行度检测仪的设计方法
【摘 要】
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国内现有的平行度检测方法和检测设备都是用于检测可见光的平行度。对于激光和红外平行度的精密检测,还没有一个好的检测方法。本文介绍了一种既可以检测可见光又可以检测激
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
【出 处】
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长春理工大学学报
【发表日期】
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2005年04期
【基金项目】
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振兴东北老工业基地项目(04-02GG156)
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