CVI制备的Si3N4p/Si3N4复合材料及其性能

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以SiCl4-NH3-H2为反应体系,采用化学气相渗透法制备Si3N4p/Si3N4复合材料。试样主要成分为α-Si3N4和非晶沉积物,并有微量的β—Si3N4和晶体Si.SEM和光学显微图片表明颗粒团间气孔偏大,Si3N4颗粒和CVI Si3N4之间界面弱结合,导致试样的弯曲强度最高只有71MPa。
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