离子交换玻璃波导1×4光功分器的研制

来源 :西南科技大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：letianqingya

【摘要】

：

详细介绍了Tl^＋-Na^＋离子交换制备玻璃波导1×4功分器的工艺制作过程。首先采用BPM软件设计波导光路图，设计并制作出具有10μm和20μm两种线宽的1×4模板，加工出3．5cm&#21

【作者】

：

周自刚廖旭任学藻胡小俊段旭梅

【机构】

：

西南科技大学理学院

【出处】

：

西南科技大学学报

【发表日期】

：

2006年1期

【关键词】

：

光波导功分器离子交换玻璃 optical waveguide optical splitter ion - exchange glass

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详细介绍了Tl^＋-Na^＋离子交换制备玻璃波导1×4功分器的工艺制作过程。首先采用BPM软件设计波导光路图，设计并制作出具有10μm和20μm两种线宽的1×4模板，加工出3．5cm×1．5cm×0．5cm基底玻璃板。然后按照工艺在玻璃面上镀上1μm厚度的钛膜。依照母板模型对基底玻璃板进行光刻，得到理想对称S形状的钛膜窗口。在480℃交换温度下，把基底玻璃板放在Tl2SO4，ZnSO4的混合熔液中经过10h的交换。一块低损耗S型多模光波导功分器形成。接着经过研磨、抛

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