【摘 要】
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目前,关于N2流量对磁控溅射CrTiAlN涂层性能影响的研究不多。在SDC99冷作模具钢表面以不同N2流量条件磁控溅射CrTiAlN涂层,采用扫描电镜、X射线衍射仪、显微硬度仪、显微镜和
【机 构】
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黄河交通学院汽车工程学院; 河南科技大学车辆与动力工程学院;
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目前,关于N2流量对磁控溅射CrTiAlN涂层性能影响的研究不多。在SDC99冷作模具钢表面以不同N2流量条件磁控溅射CrTiAlN涂层,采用扫描电镜、X射线衍射仪、显微硬度仪、显微镜和摩擦磨损试验分析涂层性能。结果表明:随着N2流量的降低,涂层中Cr元素含量也随之下降,而N元素含量则逐渐增大,CrN（211）晶面的衍射峰缓慢增加,而CrN（200）衍射峰明显增加;CrTiAlN涂层硬度较基材提高约25%,随N2流量降低,涂层的硬度逐渐增大;在60 m L/min的N2流量下制备的CrTiAlN涂层和基体间结合力最佳,涂层对表面磨粒磨损情况起到最佳改善效果,此时磨痕的"犁沟"深度与宽度都减小,涂层耐磨性得到显著提高。
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