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微米、纳米工程中的抗蚀剂技术康士秀，康怀英（中国科学技术大学）在微米、纳米工程中，影响电子束、离子束、软Ｘ射线和远紫外曝光技术的发展，最关键性问题之一是对高灵敏度、高分辨率抗蚀剂的研制、评价和改性。因为作为图形转印介质和抗蚀材料，不管是在掩模制备还是...
微米、纳米工程中的抗蚀剂技术
【摘 要】
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微米、纳米工程中的抗蚀剂技术康士秀，康怀英（中国科学技术大学）在微米、纳米工程中，影响电子束、离子束、软Ｘ射线和远紫外曝光技术的发展，最关键性问题之一是对高灵敏度、高分辨率
【机 构】
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中国科学技术大学
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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1996年S1期
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