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T46X型硒镓银单晶炉的研制
T46X型硒镓银单晶炉的研制
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:maoduoli
【摘 要】
:
介绍了TDR-46X型单晶炉的设计思路及工作原理,结合拉制单晶的特殊工艺要求,分析了其主要结构及特点.
【作 者】
:
高利强
王建春
楚波
【机 构】
:
西安理工大学
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
2005年3期
【关键词】
:
单晶炉
结构
BS法
炉室上升
Single crystal growth furnace
Structure
BS method
Hearth ascend
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介绍了TDR-46X型单晶炉的设计思路及工作原理,结合拉制单晶的特殊工艺要求,分析了其主要结构及特点.
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