【摘 要】
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以正硅酸乙酯(TEOS:Tetraethoxysilane)、氨水、乙醇(EtOH:Ethyl Alcohol)、去离子水为原料,采用溶胶-凝胶法,在普通玻璃衬底的上表面制备出一层最大粒径在400nm左有的SiO2颗
【机 构】
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郑州大学物理工程学院材料物理实验室
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以正硅酸乙酯(TEOS:Tetraethoxysilane)、氨水、乙醇(EtOH:Ethyl Alcohol)、去离子水为原料,采用溶胶-凝胶法,在普通玻璃衬底的上表面制备出一层最大粒径在400nm左有的SiO2颗粒,利用这层颗粒对可见光的散射作用,提高Si薄膜对入射可见光的吸收率.在相同的沉积条件下,分别在带有该层颗粒的玻璃和普通玻璃的上表面沉积了同样厚度的Si薄膜,制成两组样品.通过比较这两组样品在可见光波段的漫反射率和透射率以及Si薄膜样品的暗电导和定态光电导,证明该层颗粒增强了Si薄膜对入射可见光的吸收,有一定的实用前景.
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