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碳化硅基底改性硅表面的磁流变抛光

来源 :光学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：qncypt

【作 者】

：

白杨  张峰  李龙响  郑立功  张学军 

【出 处】

：

光学学报

【发表日期】

：

2015年03期

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