【摘 要】
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采用非分散红外(non-dispersive infrared,NDIR)气体传感器实时检测呼吸气体中的CO_2气体浓度,进而反映人体运动机能和代谢功能等身体状态,可以满足人类日益增强的对自身健康状况进行了解的需求。利用电调制微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)光源和双通道热释电传感器分别作为红外光源和探测器,采用气室结构设计和压电微泵相结合的方法
【机 构】
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电子科技大学电子科学与工程学院,中电科技集团重庆声光电有限公司,中国电子科技集团公司第二十六研究所,成都君凌科创科技有限公司
【基金项目】
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国家重点研发计划(2017YFB0406404)
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采用非分散红外(non-dispersive infrared,NDIR)气体传感器实时检测呼吸气体中的CO_2气体浓度,进而反映人体运动机能和代谢功能等身体状态,可以满足人类日益增强的对自身健康状况进行了解的需求。利用电调制微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)光源和双通道热释电传感器分别作为红外光源和探测器,采用气室结构设计和压电微泵相结合的方法为传感器提供稳定的气体流速,设计出红外呼吸CO_2气体传感器。通过测量不同CO_2标准气体浓度下热释电传
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