【摘 要】
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批间控制(RtR)是半导体晶圆生产过程控制的有效算法。然而,受测量手段与测量成本的限制,难以实时检测晶圆的品质数据,即:存在一定的测量时延,通常该测量时延是随机,时变的,且
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批间控制(RtR)是半导体晶圆生产过程控制的有效算法。然而,受测量手段与测量成本的限制,难以实时检测晶圆的品质数据,即:存在一定的测量时延,通常该测量时延是随机,时变的,且直接影响批间控制器的性能。为此,本文基于指数加权移动平均(EWMA)算法,提出一种含随机测量时延的扰动估计方法。在分析测量概率的基础上,建立包含测量时延概率的扰动估计表达式;并采用期望最大化(EM)算法估计该测量时延的概率;然后分析系统可能存在的静差项,给出相应的补偿算法;最后讨论系统的稳定性。仿真实例验证所提算法的有效性。
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