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激光椭圆偏光测厚仪（Ellipsometer，以下简称椭偏仪）是一种测定透光介质膜厚度和折射率的精密仪器．广泛应用于固体表面、薄膜光学、集成光学、半导体、集成电路、生物医学工程等各方面．以往在该实验的教学中，物理机制的揭示波淹没在大量的数学公式之中．以致各校学生普遍反映其原理难以理解．
椭·偏·仪·工·作·原·理
【摘 要】
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激光椭圆偏光测厚仪（Ellipsometer，以下简称椭偏仪）是一种测定透光介质膜厚度和折射率的精密仪器．广泛应用于固体表面、薄膜光学、集成光学、半导体、集成电路、生物医学工程等各
【机 构】
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四川师大,华东纺织工学院
【出 处】
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大学物理
【发表日期】
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1986年4期
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