外加应力对外延Pb(Zr1-xTix)O3薄膜相图及物理性质的影响

来源 :湖南科技学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:XIEJUANJUAN1984
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用非线性热力学方法,研究了外加应力及组分对外延单畴Pb(Zr1-xTix)O3(PZT)薄膜的相图及物理性质的影响。通过数值计算,得到了PZT薄膜在不同组分下的“外加应力-失配应变”相图。由相图可知,外加应力可以使薄膜发生铁电相变。在室温下,外加压应力能使薄膜的铁电相转变到顺电相。薄膜的压电系数对相变非常的敏感,施加一个适当的外加应力,可以大幅度提高压电系数。本文的计算结果,可以解释压痕仪和扫描力电镜研究铁电薄膜时所观察到的实验现象。
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