激光辐照单晶硅样品的研究

来源 :山西大同大学学报：自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：aifuweimin

【摘要】

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将功率为30W、波长为1064nm的YAG激光束(束斑直径0.045mm)照射在硅样品表面打出小孔,在孔内的侧壁上有很特殊的网孔状结构,其中的网孔壁厚为纳米尺度,解释孔侧壁网孔状结构的

【作者】

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许丽黄伟其辛荣

【机构】

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贵州大学贵州省光电子技术与应用重点实验室贵州大学贵州省光电子技术与应用重点实验室贵州贵阳贵州贵阳贵州教育学院物理系

【出处】

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山西大同大学学报：自然科学版

【发表日期】

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2007年4期

【关键词】

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激光辐照网孔壁光致荧光增强 laser irradiation hole-net structure photoluminescence enhance

【基金项目】

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国家自然科学基金资助项目[10547006]

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将功率为30W、波长为1064nm的YAG激光束(束斑直径0.045mm)照射在硅样品表面打出小孔,在孔内的侧壁上有很特殊的网孔状结构,其中的网孔壁厚为纳米尺度,解释孔侧壁网孔状结构的机理.孔侧壁上的网孔状结构有很强的受激荧光发光效应,发光峰中心约在700nm处.当样品在加工和检查过程中保持脱氧状态时,其样品几乎没有发光,证实了氧在PL发光增强上起着重要作用.我们用量子受限及其纳晶与氧化硅界面态复合的综合模型来解释其光致发光的增强机理

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