光电导型混晶Si1—xGex波导探测器

来源 :高技术通讯 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ll13813568876

【摘要】

：

首次报导了光电导型混晶Ｓｉ－ｘＧｅｘ波导探测器。混晶Ｓｉ１－ｘＧｅｘ是在硅基ＳｉＯＮ／ＳｉＯ２／Ｓｉ上用快速加热超低压化学气相淀积生长并经６５０℃退火３０ｍｉｎ得到的。探测器宽１０μｍ，长２ｍｍ。探测器加２０Ｖ偏置电压是，探测灵敏在０．０２２－０．０１０Ａ／Ｗ之间。混晶Ｓｉ１－ｘＧｅｘ造成探测器

【作者】

：

庄婉如朱顺明

【机构】

：

中国科学院半导体研究所集成光电子国家实验室,南京大学物理系

【出处】

：

高技术通讯

【发表日期】

：

2000年5期

【关键词】

：

硅基光电子器件光探测器光电子集成半导体 SiGe OptoelectronicdevicesonSibased Photodetector OEIC

【基金项目】

：

国家自然科学基金资助项目!( 6963 60 10 )

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首次报导了光电导型混晶Ｓｉ－ｘＧｅｘ波导探测器。混晶Ｓｉ１－ｘＧｅｘ是在硅基ＳｉＯＮ／ＳｉＯ２／Ｓｉ上用快速加热超低压化学气相淀积生长并经６５０℃退火３０ｍｉｎ得到的。探测器宽１０μｍ，长２ｍｍ。探测器加２０Ｖ偏置电压是，探测灵敏在０．０２２－０．０１０Ａ／Ｗ之间。混晶Ｓｉ１－ｘＧｅｘ造成探测器的光谱响应曲线发生蓝移。当锗组分ｘ＝０．３５、０．４、０．５、和０．６时，探测器峰值波长分别对应为８７５

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