CrCO-Ti保护薄膜的制备、结构及机械性能

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wenxiaoyan0411

【摘要】

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用非平衡脉冲直流磁控溅射技术制备出了CrCO-Ti薄膜，其结构、耐磨性和表面能分别用XRD（Phihps X-pert）、Pinon-Disc摩擦磨损测试仪（Tribometer Wear Tester）表面接触角度仪（Surface

【作者】

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胡作启

【机构】

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华中科技大学电子科学与技术系

【出处】

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真空科学与技术学报

【发表日期】

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2008年1期

【关键词】

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保护薄膜复合薄膜氧化物 Protective coating Composite thin films Oxide

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用非平衡脉冲直流磁控溅射技术制备出了CrCO-Ti薄膜，其结构、耐磨性和表面能分别用XRD（Phihps X-pert）、Pinon-Disc摩擦磨损测试仪（Tribometer Wear Tester）表面接触角度仪（Surface contact Angle Goniometer）分析，研究了在氮气气氛不同退火温度的条件下，CrCO-Ti保护薄膜的结构变化，并得出结论：非平衡脉冲直流磁控溅射沉积的CrCO-Ti保护薄膜是类非晶态的，其耐磨能力达到10^-8mm^3／Nm，它们的表面能低，经过退火处理后

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