CrCO-Ti保护薄膜的制备、结构及机械性能

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wenxiaoyan0411

【摘要】

：

用非平衡脉冲直流磁控溅射技术制备出了CrCO-Ti薄膜，其结构、耐磨性和表面能分别用XRD（Phihps X-pert）、Pinon-Disc摩擦磨损测试仪（Tribometer Wear Tester）表面接触角度仪（Surface

【作者】

：

胡作启

【机构】

：

华中科技大学电子科学与技术系

【出处】

：

真空科学与技术学报

【发表日期】

：

2008年1期

【关键词】

：

保护薄膜复合薄膜氧化物 Protective coating Composite thin films Oxide

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

用非平衡脉冲直流磁控溅射技术制备出了CrCO-Ti薄膜，其结构、耐磨性和表面能分别用XRD（Phihps X-pert）、Pinon-Disc摩擦磨损测试仪（Tribometer Wear Tester）表面接触角度仪（Surface contact Angle Goniometer）分析，研究了在氮气气氛不同退火温度的条件下，CrCO-Ti保护薄膜的结构变化，并得出结论：非平衡脉冲直流磁控溅射沉积的CrCO-Ti保护薄膜是类非晶态的，其耐磨能力达到10^-8mm^3／Nm，它们的表面能低，经过退火处理后

其他文献

粗糙表面形貌对滚动轴承油膜刚度的影响

针对滚动轴承表面为粗糙平面且影响轴承油膜刚度的问题,基于弹流润滑理论,引入表征粗糙表面形貌特性的表面粗糙度理论,建立了滚动轴承粗糙表面弹流润滑油膜刚度模型,并进行数

期刊

滚动轴承油膜刚度表面粗糙度弹流润滑rolling beatingoil film stiffnesssurface roughnesselasti

大面积应用的RF-PECVD技术研究

本文探讨采用小电极与大面积基片相对移动的方法来制造大面积薄膜的可行性,提出了采用小电极等离子体源在大面积基片上移动工作的新方法,可用于沉积(或刻蚀)均匀大面积薄膜或

期刊

大面积均匀性等离子体增强化学气相沉积(PECVD)双移动电极Large-area Uniformity PECVD Movement of dua

一维纳米结构氧化锌材料的气相沉积制备及生长特性研究

ZnO是一种可用于室温或更高温度下的紫外发光材料,纳米结构的ZnO(如单晶薄膜、纳米粒子膜、纳米线和纳米带等)则更是在紫外激光发射领域显示了独到的优势,被认为是有望构造短

期刊

氧化锌纳米线气相制备VLS生长机制

枪弹钝击防弹衣后人体胸骨的非贯穿性损伤研究

建立了手枪弹钝击软体防弹衣和人体胸骨有限元计算模型,给出了软体防弹衣和人体胸骨的密质骨、松质骨和骨髓的材料模型,并对手枪弹钝击软体防弹衣的人体胸骨冲击响应进行了数

期刊

枪弹胸骨APDL有限元模型力学响应bullet human sternum finite element model impact resp

焊接钢轨轨腰残余应力特性分布研究

为研究焊接钢轨轨腰部位残余应力的分布特性,首先阐述了钢轨中残余应力的影响及危害,介绍了盲孔法测量残余应力的原理及优势,采用传统盲孔法与逐层钻孔法分别对标准60kg/m闪

期刊

焊接钢轨轨腰传统盲孔法逐层钻孔法残余应力应力分析

SiO2／Si衬底制备ZnO薄膜及表征

本文报道了利用脉冲激光沉积技术在热氧化p型硅衬底上生长ZnO外延薄膜.引入高阻非晶SiO2缓冲层,有效地降低了检测过程中单晶衬底对ZnO薄膜的电学性能影响.利用XRD,SEM,Hall和

期刊

ZNO薄膜SIO2/SI脉冲激光沉积光致发光ZnO thin film SiO2/Si Pulsed laser deposition Photo

利用朗缪尔双探针诊断电弧离子镀等离子体参数

本文利用朗缪尔双探针对电弧离子镀等离子体进行了诊断。双探针具有收集电流小的优点（小于离子饱和电流），可以避免探针在高密度电弧离子镀等离子体中被烧坏。利用离散傅里叶变换

期刊

朗缪尔双探针电弧离子镀等离子体Langmuir double probe Arc ion plating Plasma

复合背接触层与背电极的匹配对CdTe太阳电池性能的影响

本文研究Ni和Au两种背电极在有、无ZnTe/ZnTe:Cu背接触层时对碲化镉太阳电池性能的影响及其机理。试验结果表明,在没有ZnTe/ZnTe:Cu复合背接触层时,Ni和Au相比,输入特性的填

期刊

复合背接触层金属背电极短路电流密度转换效率CDTE太阳电池Complex back contact layer Metal back electro

护理标识在重症监护室中的应用效果

目的探讨护理标识在重症监护室中的应用效果分析。方法选取2016年1月~2017年1月我院收治的重症监护患者220例作为研究对象,将其随机分为观察组与对照组,各110例,观察组患者实

期刊

重症监护室护理标识应用效果

基于谐波平衡法的储油罐幅频特性研究

为揭示隔震储油罐幅频特性和提高储油罐的抗震性能,建立了三质点体系隔震储油罐系统非线性动力学模型,将地震波简化为简谐波,推导出微分方程组,对微分方程组进行无量纲化处理

期刊

隔震储油罐谐波平衡法幅频特性vibration isolationstorage tankharmonic balance methodampli

CrCO-Ti保护薄膜的制备、结构及机械性能

与本文相关的学术论文