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根据Sematech研究员Rusty Harris所述，CMOS技术未来可能会从现今半导体工业的（100）取向硅晶圆转向使用（110）取向的晶圆。
在（110）单晶硅上获得高性能nFET
【摘 要】
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根据Sematech研究员Rusty Harris所述，CMOS技术未来可能会从现今半导体工业的（100）取向硅晶圆转向使用（110）取向的晶圆。
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2008年4期
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