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半导体硅材料的发展现状及趋势
半导体硅材料的发展现状及趋势
来源 :无锡南洋学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wumin0371
【摘 要】
:
本文介绍了半导体硅材料的发展现状及未来发展趋势。 This article describes the current status of semiconductor silicon materials and future trends.
【作 者】
:
代淑芬
【机 构】
:
无锡南洋职业技术学院电子工程系,
【出 处】
:
无锡南洋学院学报
【发表日期】
:
2008年03期
【关键词】
:
半导体硅
发展趋势
发展现状
硅单晶
材料工业
摩尔定律
沟道长度
半导体市场
氧化诱生层错
外延片
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本文介绍了半导体硅材料的发展现状及未来发展趋势。 This article describes the current status of semiconductor silicon materials and future trends.
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