【摘 要】
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采用射频溅射法在锗衬底上沉积无定形碳氮膜 (a- C:N) ,用 X射线光电子谱 (XPS)、傅立叶变换红外光谱 (FT- IR)和喇曼光谱 (RS)分析了膜的成分与结构。结果表明 ,氮是以化学
【机 构】
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西北工业大学材料科学与工程学院,西北工业大学材料科学与工程学院,西北工业大学材料科学与工程学院,西北工业大学材料科学与工程学院,西北工业大学材料科学与工程学院
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采用射频溅射法在锗衬底上沉积无定形碳氮膜 (a- C:N) ,用 X射线光电子谱 (XPS)、傅立叶变换红外光谱 (FT- IR)和喇曼光谱 (RS)分析了膜的成分与结构。结果表明 ,氮是以化学键的形式存在于膜中 ,且有三种不同的 C- N键合状态。随着反应气体中氮气分压的增加 ,a- C:N膜中氮浓度增加 ,C≡N键的含量增加。
Amorphous carbon-nitrogen films (a- C: N) were deposited on germanium substrates by radio frequency sputtering. X-ray photoelectron spectroscopy (XPS), Fourier transform infrared spectroscopy (FT-IR) and Raman spectroscopy The composition and structure of the membrane. The results show that nitrogen is in the form of chemical bonds in the membrane, and there are three different C-N bonding states. With the increase of the partial pressure of nitrogen in the reaction gas, the nitrogen concentration in the a-C: N film increases, and the content of the C≡N bond increases.
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