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在1200℃静态氮化非晶硅膜热重实验基础上,用回归分析方法,按气固相反应理论中几种控速模式,分析探讨了非晶硅氮化动力学模型,得到非晶硅氮化反应前期为界面化学反应控速、中期为界面化学反应与扩散混合控速、后期为扩散控速的三段控速模型,并获得有满意相关系数的氮化各期动力学曲线表达式.
非晶硅膜氮化动力学分析
【摘 要】
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在1200℃静态氮化非晶硅膜热重实验基础上,用回归分析方法,按气固相反应理论中几种控速模式,分析探讨了非晶硅氮化动力学模型,得到非晶硅氮化反应前期为界面化学反应控速、中
【机 构】
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北京有色金属研究总院,浙江大学半导体材料研究所,北京科技大学100088
【出 处】
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稀有金属
【发表日期】
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1993年4期
【基金项目】
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高纯硅及硅烷国家重点实验室资助
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