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介绍了影响氢氟酸溶液腐蚀牺牲层速率的主要因素,阐述了一二阶联合模型以及这个模型的极坐标推广.详细讨论了极坐标扩散方程的数值求解算法,并对算法进行了适当的优化,利用C语言进行了计算机编程实现了对腐蚀过程的仿真,最后给出腐蚀单端开口结构腐蚀过程的仿真结果.
牺牲层腐蚀平面二维模拟与仿真
【摘 要】
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介绍了影响氢氟酸溶液腐蚀牺牲层速率的主要因素,阐述了一二阶联合模型以及这个模型的极坐标推广.详细讨论了极坐标扩散方程的数值求解算法,并对算法进行了适当的优化,利用C
【机 构】
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东南大学MEMS教育部重点实验室
【出 处】
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电子器件
【发表日期】
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2005年3期
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