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本文介绍了硅片处理系统的组成及各模块功能的实现，重点阐述了系统结构，调速及测速的原理，最后给出了上位机编程的设计思想。
硅片处理系统的研制
【摘 要】
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本文介绍了硅片处理系统的组成及各模块功能的实现，重点阐述了系统结构，调速及测速的原理，最后给出了上位机编程的设计思想。
【机 构】
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西安交通大学电气工程学院710049
【出 处】
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工业控制计算机
【发表日期】
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2002年7期
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