【摘 要】
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在超声热键合的过程中,平行键合线的间距变化常常被忽略.间距变化对高频信号传输会产生较大影响,不容忽视.文中从建模分析和试验测试两个角度研究了平行键合线距离对电路信号传输的影响.基于电路的尺寸参数和材料参数,分别建立了不同间距平行键合线的电磁场数值计算模型和等效电路模型,计算和分析了两连接点间等效电感和电阻随间距和信号频率的变化关系,研究了平行键合线距离对电路信号完整性的影响.?模型仿真和试验测试结果表明,键合线之间的互感随着键合线间距增加而下降,从而导致两连接点之间的等效电感下降,电路信号完整性提升.
【机 构】
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北京邮电大学, 安全生产智能监控北京市重点实验室, 北京, 100876;北京智芯微电子科技有限公司, 北京, 102200
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在超声热键合的过程中,平行键合线的间距变化常常被忽略.间距变化对高频信号传输会产生较大影响,不容忽视.文中从建模分析和试验测试两个角度研究了平行键合线距离对电路信号传输的影响.基于电路的尺寸参数和材料参数,分别建立了不同间距平行键合线的电磁场数值计算模型和等效电路模型,计算和分析了两连接点间等效电感和电阻随间距和信号频率的变化关系,研究了平行键合线距离对电路信号完整性的影响.?模型仿真和试验测试结果表明,键合线之间的互感随着键合线间距增加而下降,从而导致两连接点之间的等效电感下降,电路信号完整性提升.
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