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研究了M963合金在975℃×225MPa条件下蠕变过程中的组织演化及断裂机理.结果表明:M963合金的蠕变曲线呈现出明显的3个阶段且稳态蠕变速率较低;蠕变过程中,γ′相粒子逐渐筏形化,由初始阶段分布在γ基体中的立方状孤立相转变为蠕变后期包围γ相的连续相;在枝晶干上有颗粒状M<,6>C碳化物析出;蠕变变形机制从初始阶段的Orowan绕过γ′相粒子变为蠕变后期的位错切过γ′相粒子.