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本文通过扫描电镜（SEM）观察、拉曼光谱（Raman）分析研究了O<sub>2</sub>-C<sub>2</sub>H<sub>2</sub>系燃焰法沉积金刚石薄膜的整体生长特征及气体配比与基底在火焰中所处位置对金刚石生长习性、沉积速率及合成质量的影响。
O<sub>2</sub>-C<sub>2</sub>H<sub>2</sub>燃焰法沉积金刚石薄膜工艺研究
【摘 要】
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本文通过扫描电镜（SEM）观察、拉曼光谱（Raman）分析研究了O<sub>2</sub>-C<sub>2</sub>H<sub>2</sub>系燃焰法沉积金刚石薄膜的整体生长特征及气体配比与基底在火焰中所处位置对金
【机 构】
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冶金工业部钢铁研究总院,冶金工业部钢铁研究总院北京,100081,北京,100081
【出 处】
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粉末冶金材料科学与工程
【发表日期】
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1997年3期
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