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量子阱或超晶格的应变弛豫发生的临界厚度问题是关系到器件设计、材料制备的基本问题,虽然从理论上已提出了多种计算模型[1~3],但不同的模型所计算出的结果差别很大,且不同的模型所使用的范围尚不确定,因此激发了从实验上予以研究的要求.另外,含N的Ⅲ-V族究竟适用何种模型尚无定论,且对其弛豫行为以及对性能的影响缺乏细致的研究.