【摘 要】
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提出一种基于特殊形貌铜铟二级微纳米层的液固扩散互连方法。将两块具有针状阵列结构的铜铟二级微纳米层的基板表面相互接触,对接触区域进行加热以进行固液互连。这种铜铟微
【基金项目】
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2021年度广州市科技计划基础与应用基础研究项目(007022192023),2020年度增城区科技创新资金计划项目,2019年广东省教育厅重点平台及科研项目特色创新项目(自然科学)(2019KTSCX224)。
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提出一种基于特殊形貌铜铟二级微纳米层的液固扩散互连方法。将两块具有针状阵列结构的铜铟二级微纳米层的基板表面相互接触,对接触区域进行加热以进行固液互连。这种铜铟微纳米层具有二级结构,第一级为细小均匀的圆锥形阵列铜针层,第二级为镀覆铜针层上的铟微米层,其能有效防止铜层氧化。在互连温度260℃下,铟变成液态,互连时液态铟浸润铜针层,形成金属间化合物Cu2In。通过扫描电子显微镜和透射电子显微镜及焊接强度测试仪分别分析了互连界面的显微组织,金属间化合物和剪切强度变化趋势。发现随着互连时间的延
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