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喷淋头是MOCVD反应器中的关键部件，其设计和加工难度大。采用特殊的结构设计和合理工艺方法，配合加工工装和焊接夹具，选择合理的基准面和焊接参数，降低了加工难度。
MOCVD喷淋头的焊接工艺研究
【摘 要】
：
喷淋头是MOCVD反应器中的关键部件，其设计和加工难度大。采用特殊的结构设计和合理工艺方法，配合加工工装和焊接夹具，选择合理的基准面和焊接参数，降低了加工难度。
【机 构】
：
中国电子科技集团公司第四十八研究所
【出 处】
：
机械工人(热加工)
【发表日期】
：
2008年1期
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