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<正> 1.前言微机械包括微结构、微致动器、微传感器、微控制、组装、系统设计、微加工以及微能量等方面的技术.本文介绍带运动的信息仪器,利用微机械技术迅速发展的旧信息仪器以及新出现的信息仪器.2.带运动的信息仪器用于信息系统的仪器在具有输入输出接
微机械在信息仪器中的应用
【摘 要】
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<正> 1.前言微机械包括微结构、微致动器、微传感器、微控制、组装、系统设计、微加工以及微能量等方面的技术.本文介绍带运动的信息仪器,利用微机械技术迅速发展的旧信息仪
【出 处】
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光机电信息
【发表日期】
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1996年4期
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