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介绍一种新型的线性磁场传感器。其结构为横向双基极、双集电极晶体管,器件对磁场呈线性响应。在弱磁场下,其相对灵敏度达105.17%/T,在低负载电阻(500Ω)下,其绝对灵敏度达3.78V/T。
采用P型埋层CMOS工艺制备线性磁场传感器
【摘 要】
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介绍一种新型的线性磁场传感器。其结构为横向双基极、双集电极晶体管,器件对磁场呈线性响应。在弱磁场下,其相对灵敏度达105.17%/T,在低负载电阻(500Ω)下,其绝对灵敏度达3.
【机 构】
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上海交通大学上海市200030
【出 处】
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微电子学与计算机
【发表日期】
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1992年8期
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