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采用P型埋层CMOS工艺制备线性磁场传感器
采用P型埋层CMOS工艺制备线性磁场传感器
来源 :微电子学与计算机 | 被引量 : 0次 | 上传用户:curarchy
【摘 要】
:
介绍一种新型的线性磁场传感器。其结构为横向双基极、双集电极晶体管,器件对磁场呈线性响应。在弱磁场下,其相对灵敏度达105.17%/T,在低负载电阻(500Ω)下,其绝对灵敏度达3.
【作 者】
:
邵传芬
【机 构】
:
上海交通大学上海市200030
【出 处】
:
微电子学与计算机
【发表日期】
:
1992年8期
【关键词】
:
磁场
传感器
CMOS
P型
Buried layer
CMOS process
Magnetic field sensor
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介绍一种新型的线性磁场传感器。其结构为横向双基极、双集电极晶体管,器件对磁场呈线性响应。在弱磁场下,其相对灵敏度达105.17%/T,在低负载电阻(500Ω)下,其绝对灵敏度达3.78V/T。
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