【摘 要】
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等离子化学反应比工业上的高温反应、光化学反应、放射化学反应等的选择性好,收率高。用等离子对有机或无机材料进行改性、接枝.刻蚀等,是在0.01～0.1毫米汞柱和高频电流下操
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等离子化学反应比工业上的高温反应、光化学反应、放射化学反应等的选择性好,收率高。用等离子对有机或无机材料进行改性、接枝.刻蚀等,是在0.01～0.1毫米汞柱和高频电流下操作的,所得的材料改性层非常薄,仅100～1000埃,不影响被处理材料的固有
Plasma chemical reactions than the industrial high-temperature reaction, photochemical reactions, such as the selectivity of radiation chemical reaction, high yield. Organic or inorganic materials are modified with plasma, grafted, etched and operated at 0.01 to 0.1 mmHg and high frequency current, resulting in very thin modified layers of only 100-1000 Angstroms Affect the inherent material being processed
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