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采用sol-gel法制备了Ba0．6Sr0．4TiO3薄膜。探讨了溶胶中醋酸和乙二醇用量对BST晶化温度和物相的影响，配制出了晶化温度低且无杂相的BST溶胶，对比了退火升温速率对BST薄膜形貌的影响。发现在低速率升温条件下生长的薄膜致密、均匀一致，无气孔、裂纹。测试了薄膜的介电调谐性能，在室温IMHz下，BST薄膜的εr、tanδ和T分别为592，0．025和42％。