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提出了一种用于雷达的微带天线单元的工艺设计及其实现。使用铜箔厚度为18μmm的衬铝板,通过工艺线宽设计,合理选择工艺参数,使用湿法刻蚀,抵消了侧腐蚀的影响,成功地制造出了面积为330mm×330mm的微带天线单元,其精度为+0.01～-0.03mm,满足了具体雷达的电讯设计要求。
一种雷达微带天线单元的工艺实现
【摘 要】
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提出了一种用于雷达的微带天线单元的工艺设计及其实现。使用铜箔厚度为18μmm的衬铝板,通过工艺线宽设计,合理选择工艺参数,使用湿法刻蚀,抵消了侧腐蚀的影响,成功地制造出
【机 构】
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华东电子工程研究所
【出 处】
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现代电子
【发表日期】
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2000年4期
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