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在多束动态混合（ＭＢＭＩ）－注入系统上利用ＭＢＭＩ技术制备ＴｉＮ膜，ＸＲＤ分析表明，Ｎ＾＋入射角度α（°）、氮钛原子到达比Ｒｎ／Ｔｉ、Ｎ２分压ＰＮ２对膜生长怕择优取向及相结构有影响：性能研究结果表明，高的入射离子能量Ｅｉ、基体温度Ｔｓ以及合适的ＲＮ／Ｔｉ对ＴｉＮ膜的显微硬度ＨＫ和膜－基结合力都有正面影响。