【摘 要】
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本文描述了RIE终点检测系统对高频辐射干扰的抑制,提出几种解决高频干扰的方法
This article describes the RIE endpoint detection system for high-frequency radiation
【机 构】
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长沙半导体工艺设备研究所,长沙半导体工艺设备研究所,长沙半导体工艺设备研究所
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本文描述了RIE终点检测系统对高频辐射干扰的抑制,提出几种解决高频干扰的方法
This article describes the RIE endpoint detection system for high-frequency radiation interference suppression, proposed several solutions to high-frequency interference
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