PDMS表面形貌调控Au/PDMS褶皱图案的实验

来源 :华中科技大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：happyboylss

【摘要】

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采用超精密车削技术来调控Au/PDMS双层结构形成规则有序的锯齿状褶皱图案.以超精密车削技术在铝合金样品表面上加工的条纹图形,经复制模铸得到了聚二甲基硅氧烷(PDMS)基底表

【作者】

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赵小力梁迎春董申孙涛

【机构】

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哈尔滨工业大学精密工程研究所,黑龙江哈尔滨

【出处】

：

华中科技大学学报(自然科学版)

【发表日期】

：

2007年S1期

【关键词】

：

超精密车削技术聚二甲基硅氧烷锯齿状褶皱耦合 ultra-machining turning technique polydimethylsiloxane

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采用超精密车削技术来调控Au/PDMS双层结构形成规则有序的锯齿状褶皱图案.以超精密车削技术在铝合金样品表面上加工的条纹图形,经复制模铸得到了聚二甲基硅氧烷(PDMS)基底表面上的反相结构.用离子溅射方法在PDMS基底表面沉积一层20-50 nm厚的Au膜,在冷却过程中Au/PDMS褶皱图案与基底形貌相互作用,从而成功地调控出规则有序、波长可控的锯齿状褶皱图案.经实验分析,PDMS基底形貌与褶皱图案之间的耦合作用是形成锯齿状褶皱的主要原因.

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