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洁净厂房中各种产品的生产过程需要各种不同的高纯气体,对气体的品质要求越来越高。必须了解、掌握如何有效地控制施工过程、如何提高高纯气体管道的安装质量、如何检测高纯气体的品质。介绍个人在安装施工过程中积累的一点心得,供同行参考。
浅谈洁净室内高纯气体管道施工
【摘 要】
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洁净厂房中各种产品的生产过程需要各种不同的高纯气体,对气体的品质要求越来越高。必须了解、掌握如何有效地控制施工过程、如何提高高纯气体管道的安装质量、如何检测高纯
【机 构】
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中国电子工程设计院世源希达工程技术公司,中国电子工程设计院世源科技工程有限公司
【出 处】
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洁净与空调技术
【发表日期】
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2010年03期
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