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根据设计载荷,从工作台结构、直线电机选型、位置测量和控制系统等多方面阐述了一种直线电机驱动位移的机构设计方法和控制原理.实际应用表明,该直线电机驱动的位移机构其位置精度可达微米级.
高精度直线电机驱动机构的设计与控制
【摘 要】
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根据设计载荷,从工作台结构、直线电机选型、位置测量和控制系统等多方面阐述了一种直线电机驱动位移的机构设计方法和控制原理.实际应用表明,该直线电机驱动的位移机构其位
【机 构】
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中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
【出 处】
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新技术新工艺
【发表日期】
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2003年10期
【基金项目】
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中国工程物理研究院项目
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