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本文从真空灭弧室真空度测量的意义入手，介绍了真空度离线和在线测量的技术现状和成果，并侧重分析了脉冲磁控放电法存在的问题和基于该原理制造的真空度测试仪的校验方法，最后探讨了真空度测量技术的发展方向。
真空灭弧室真空度测量和校验方法的探讨
【摘 要】
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本文从真空灭弧室真空度测量的意义入手，介绍了真空度离线和在线测量的技术现状和成果，并侧重分析了脉冲磁控放电法存在的问题和基于该原理制造的真空度测试仪的校验方法，最后探
【机 构】
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天津平高智能电气有限公司
【出 处】
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中国机械
【发表日期】
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2014年22期
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