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分析了聚酯薄膜电击穿可能的模型，如本征击穿模型和电一机械击穿模型，估算了两种模型下常用聚合物介质的临界击穿场强。实验研究了平板电极结构下10μm级聚酯薄膜的自击穿电压，得出了聚酯薄膜的临界击穿场强450-500kV／mm。实验结果与理论计算值比较表明：本征击穿模型下的聚酯薄膜临界击穿场强都远小于实验结果，电～机械击穿模型下聚酯薄膜临界击穿场强大于实验结果。