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偏振相位调制方法是测量微小双折射的一种高精度检测方法。本文系统全面地分析了以PMCSA结构形式测量光盘盘基应力双折射的相位调制方法中，由各种误差源造成的对测试结果的影响。
用相位调制方法测量光盘盘基应力双折射的精度分析
【摘 要】
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偏振相位调制方法是测量微小双折射的一种高精度检测方法。本文系统全面地分析了以PMCSA结构形式测量光盘盘基应力双折射的相位调制方法中，由各种误差源造成的对测试结果的影响。
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所,上海201800
【出 处】
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光学学报
【发表日期】
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1995年15期
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