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近几年，由于用分子束外延法在SrTiO3衬底表面制备的单层FeSe具有很高的超导转变温度而引发了极大的研究热潮，随之而来的是对多层FeSe薄膜日益增长的研究兴趣。但目前还没有对成功生长高质量多层FeSe薄膜的详细报道。本文利用高能电子衍射仪（RHEED）实时监控在不同生长条件下制备的多层FeSe薄膜，发现在FeSe薄膜的生长初期， RHEED图像的强度演化基本符合台阶密度模型的描述特征，即台阶密度ρ正相关于衍射条纹强度。 FeSe（02）衍射条纹的强度在第一生长周期内呈现稳定而明显的峰型振荡，而且不受高能