【摘 要】
：
HfO2薄膜是一种新兴的薄膜材料，在耐高温保护涂层、微电子、催化等领域有着非常重要的应用。HfO2薄膜优异的性能及广阔的应用前景已经引起人们极大的关注。介绍了MOCVD法制备H
【基金项目】
：
昆明贵金属研究所R＆D基金（GY-08RD15）
论文部分内容阅读
HfO2薄膜是一种新兴的薄膜材料，在耐高温保护涂层、微电子、催化等领域有着非常重要的应用。HfO2薄膜优异的性能及广阔的应用前景已经引起人们极大的关注。介绍了MOCVD法制备HfO2薄膜前驱体的研究进展和现状，着重讨论了MOCVD工艺中各类前驱体的优缺点，概述了目前研究的热点和进一步研究的方向。最后得出结论：目前使用较多的β-二酮类铪配合物自身存在许多不利于MOCVD工艺的缺点，因此混合配体的铪配合物成为进一步研究的焦点。
其他文献
这里山海相嵌,海天交融,片片帆船在宽阔的海面上摇荡,滚滚白浪在阳光的照耀下闪烁。若说眼前如诗如画的美景已足够令人沉醉,那么在海面穿跃的中华白海豚则更为这景色添一份梦
在电力企业运营中,工程造价管理具有十分重要的作用,其可以良好地管理电力企业的运营成本,提高企业的经济收益,然而 当前电力工程造价中,全过程的控制和管理无法与相关标准相
介绍了气囊工作原理。针对某装备油箱内部气囊在工作过程中因耐油性能与气密性能不佳导致装备液压系统无法稳定工作的情况,对其进行失效机理分析,通过解剖大量故障气囊进行故
随着人们物质生活水平的不断提高,人们对于自身健康的关注也在逐步增加。医院作为向患者提供优质医疗服务的服务型机构, 自身电气化水平将直接影响服务的质量及患者病症治疗
海洋气候变幻莫测,海况复杂,在航海技术十分落后的时代,台风、海啸、暴雨、暗流等恶劣环境,随时可能夺走出海渔民的财产和生命。风暴来临之际,海上掀起千仞白浪,船覆人亡不过
听力测试含有多种技巧,从最低标准来说,它必须包括辩音、语调、重音重读模式以及长短听力材料的理解等方面.尽管前两个方面是听力中不可缺少的组成部分,然而,仅有这两者当然
自2016年起,“一带一路”国际科普交流周已成功举办四届。作为每年全国科技活动周的重大科普示范活动,其同时也是“一带一路”科技创新合作行动计划的内容之一,致力于借助全
近日,2015—2019年上海“优秀科普作品”评选结果公布,上海科技馆原创的4D科普电影《熊猫滚滚——寻找新家园》名列其中。本次评选活动由上海市科普作家协会主办,分为科普图
lO月28日，零点调查集团公布的一项调查显示，中国启动覆盖城乡的医改虽已有4年，但阶段性成效不明显，超9成被访者认为看病费用仍居高不下，87．4％的人表示看病更贵了。调查结果显示，药品
自启动综合改革试点工作以来，北京朝阳医院的核心业务团队秉承公益性与提升效率的双重宗旨，同心协力取得了优异的管理业绩。