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镀膜工艺设计应能有效脱附物理和化学吸附,才能保证附着强度工艺稳定性.设备运行后腔室内表面沉积物增加,通过分析变化影响探索出一种等离子干燥工艺方法,应用后提高了生产效率,保证了薄膜电路金属叠层间附着强度生产稳定性,满足产品工程应用的可靠性要求.
采用等离子干燥工艺提高镀膜附着强度稳定性
【摘 要】
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镀膜工艺设计应能有效脱附物理和化学吸附,才能保证附着强度工艺稳定性.设备运行后腔室内表面沉积物增加,通过分析变化影响探索出一种等离子干燥工艺方法,应用后提高了生产效
【机 构】
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中国西南电子技术研究所
【出 处】
：
电讯技术
【发表日期】
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2016年3期
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