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通过金属膜片与硅油之间耦合振动的分析，从理论上提出了充油传感器动态特性的改善方法．所研制传感器的固有频率可达７４ｋＨｚ．
充油式传感器动态特性研究
【摘 要】
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通过金属膜片与硅油之间耦合振动的分析，从理论上提出了充油传感器动态特性的改善方法．所研制传感器的固有频率可达７４ｋＨｚ．
【机 构】
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东北传感技术研究所;
【出 处】
：
传感器技术
【发表日期】
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2004年期
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