论文部分内容阅读
本文介绍了同轴圆柱形磁控溅射源的换热计算方法，根据传热学原理对其换热情况做了分析，并对如何选择冷却水及有关靶结构的参数做了探讨。
同轴圆柱形磁控溅射源的换热分析与冷却水参数选择
【摘 要】
：
本文介绍了同轴圆柱形磁控溅射源的换热计算方法，根据传热学原理对其换热情况做了分析，并对如何选择冷却水及有关靶结构的参数做了探讨。
【机 构】
：
四川联合大学原子核科学技术研究所
【出 处】
：
真空
【发表日期】
：
1997年05期
其他文献
磁控溅射靶面磁感应强度的水平分布直接关系到靶材的利用率和刻蚀的均匀性。为了寻求更好的磁控靶结构参数,从而实现靶面水平磁感应强度的均匀分布,作者应用ANSYS软件对SD500
"互联网+外贸"驱动了中国跨境电子商务的快速发展,跨境贸易电商化已成为外贸行业转型发展的新动力。适时进行人才培养方式改革,对接外贸企业需求,与当下外贸行业中蓬勃发展的
随着数控设备越来越复杂,对设备故障诊断与维修提出了更高的要求,采用专家系统的方式建立故障诊断系统以实现数控设备的快速诊断和维修.针对CBR(Case-Based Reasoning)系统自
本研究以北京体育大学为例,探讨基于网络的艺体类院校大学英语机考,根据我校实际情况,以学科类院系为第一轮试点,逐步推行大学英语测试改革,即机考代替纸质考试形式。研究结
构树适应性广，萌芽力强，易繁殖，是四旁绿化与防堤护岸的重要树种。构树全身是宝，树皮是优质造纸及纺织原料，树皮浆汁与果可药用，尤其是构叶蛋白质含量丰富，经分析蛋白质含量达２４．０％，且安全
本文介绍了为测试吸气剂钡膜吸气性能等实验室用模拟试验玻壳低熔点玻璃到接件的结构、封接的原理、材料选择、清洁处理、封接工艺及温度控制。最后封接出性能优良的满足试验
以芳醛、乙酰乙酸乙酯、麦氏酸和醋酸铵为原料,在无溶剂条件下用微波辐射后合成了一系列4-芳基-5-乙氧羰基-6-甲基-3,4-二氢吡啶-2-酮.
《东方直播室》作为一档时事辩论类电视谈话节目促进了社会多元观点的交流,获得了大众的关注与传媒界人士的认可。节目选题聚焦中国社会转型阶段的热点问题,表达社会心声,改
目的:通过不同的间隔天数,连续多次给予小鼠腹腔注射超抗原葡萄球菌肠毒素A(SEA),观察注射后T细胞的表型变化,并找寻SEA在小鼠体内对T细胞无能的诱导规律。方法:将80只小鼠随
提问是课堂教学一项可操作、演示和评价的课堂教学技能,在生物课堂中问出效果能引发学生的思考,促进学生思维发展,完成师生之间的交流,有效实现教学目标。因此,对七年级生物