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采用PIC-MC自洽模型，模拟了氮气电容性耦合射频放电的微观等离子体过程及带电粒子（e，N2^＋，N3的行为。结果表明，离子（N2^＋，N^＋）的运动状态滞后瞬时射频电场的变化；在两极附近，N2^＋具较高密度，但能量较低，N……＋具较低的密度但能量较高，两者的密度差6倍左右。两种离子轰击射频电极的能量分布变化规律类似，随放电参数变化，离子（N2^＋，N^＋）能量变化显著，其密度变化不明显。模拟的电子能量几率分布与测量结果一致。