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电子束表面改性技术能够赋予材料优异的表面性能,具有广阔的应用前景。分别从裂纹、气孔、表面粗糙度、改性层与基体结合强度等方面综述了材料电子束表面改性层性能研究现状,并从抗氧化性能、耐磨损性能、抗腐蚀性能、断裂韧性方面综述了电子束表面改性对材料表面性能的影响,简要介绍了用于电子束表面改性的设备,并展望了该项技术的发展前景。