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为解决虚拟制造系统间过程信息的集成与共享,提出了一种基于虚拟制造过程元模型和形式化Z语言工具的过程模型规范研究方法。元模型以活动和连接弧为核心,关联制造过程中的产品、资源、转移条件和相关数据,并根据制造过程特点设计了三种标志节点、七种任务节点和两类连接弧。过程要素的Z规范描述保证了数据语义的准确性和无二义性。通过对典型的车间生产和装配过程进行建模,验证了元模型的有效性。