粘滞流下电离真空计检漏的初步理论和应用

来源 :真空科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:aji_y
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在简短地评述了目前诸种大容器检漏方法之后,指出采用高压强电离真空计检漏的可能性,给出了粘滞流条件下探索气体在系统管道内流动的物理模式,根据这一模式,文中分析了检漏过程中的粘滞流延迟时间,影响值的因索,探索气体达至稳定态所需的时间。并已得到实验证实。文章的后半部分析了在粘滞流条件下,规管、漏孔在系统中的相对位置,对检漏灵敏度和反应时间影响的规律,以及对探索气体选择的考虑。 After a brief review of the current methods for leak detection of large containers, the possibility of using a high-pressure ionization vacuum gauge to detect leaks is pointed out and a physical model for exploring the flow of gas in a system pipeline under viscous flow conditions is given. According to this Mode, the paper analyzes the delay time of viscous flow in the process of leak detection, the factors that affect the value, and explores the time required for gas to reach steady state. And has been experimentally confirmed. The second half of the article analyzes the rules of leakage and leakage in the system under the condition of viscous flow, the law of the influence on the sensitivity and reaction time of the leak detection, and the consideration of exploring gas selection.
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